當(dāng)討論掃描儀電鏡質(zhì)量的情況下，大家總喜愛將分辨率、變大倍率等主要參數(shù)做為評定根據(jù)的不二之選。尤其是在選購新機(jī)器設(shè)備時(shí)，也是將這兩項(xiàng)主要參數(shù)視若耀眼明珠，害怕稍稍懈怠，因而非常容易深陷“主要參數(shù)黨”的渦旋而背馳了選購電鏡的初心。

　　那麼何不回過神兒來細(xì)心想一想，大伙兒選購掃描儀電鏡的具體要求是啥？自然是為了更好地更、更便捷地觀查試品。

　　那麼怎樣完成所述的目地呢？

　　機(jī)器設(shè)備和人是應(yīng)用電鏡全過程中的兩個(gè)行為主體，將電鏡的分辨率、變大倍率等主要參數(shù)放置調(diào)查的第一位雖然無錯(cuò)版，可是更為不可以忽視實(shí)際操作工作人員與電鏡的互動(dòng)全過程，也就是應(yīng)用與管理方法感受，這在其中包含了機(jī)器設(shè)備對自然環(huán)境的適應(yīng)能力、易懂性、工作效能和性能的可靠性等要素。

　　構(gòu)想一下，電鏡的操作面板繁雜繁雜，如換樣照相耗時(shí)費(fèi)力，管理方法維護(hù)流程步驟繁雜，且電鏡性能衰減系數(shù)比較嚴(yán)重，那麼分辨率等原廠主要參數(shù)也將喪失實(shí)際意義。

　　這篇從電鏡機(jī)器設(shè)備性能可靠性下手，基本掌握其對應(yīng)用與管理方法感受的危害。

　　掃描儀電鏡分辨率

　　假如非得用一個(gè)主要參數(shù)來點(diǎn)評掃描儀電鏡的性能，那麼絕大多數(shù)人要果斷地挑選“分辨率”這一關(guān)鍵字。

　　分辨率意味著了合理鑒別細(xì)微總體目標(biāo)的工作能力，掃描儀電鏡的升級與創(chuàng)新也恰好是以分辨率為界線的。

　　如鎢燈絲掃描儀電鏡的分辨率在5nm@20kV等級，硼系燈絲掃描儀電鏡的分辨率在＜3nm@20kV等級，而場發(fā)送掃描儀電鏡的分辨率可達(dá)到埃米等級，已貼近散射電鏡水準(zhǔn)。

　　因而，分辨率基本上意味著了電鏡的工作能力等級。伴隨著科技進(jìn)步的發(fā)展趨勢，普及性電鏡的分辨率也基本上貼近最高值，而不一樣生產(chǎn)廠家同種類電鏡的原廠分辨率也日趨一致。

　　那麼，怎樣確保電鏡有著長期性平穩(wěn)的分辨率才算是實(shí)際操作工作人員更應(yīng)當(dāng)關(guān)心的性能，也就是掃描儀電鏡性能的可靠性。

　　電子器件源

　　?

　　燈絲（射線管）是電子器件源的服務(wù)提供者，也是一臺(tái)電鏡關(guān)鍵的構(gòu)件，燈絲所發(fā)送電子器件的相對密度、束斑規(guī)格、動(dòng)能遍布將關(guān)鍵性危害掃描儀電鏡的分辨率。

　　1.鎢燈絲

　　鎢燈絲具備構(gòu)造簡易、束流大、真空泵規(guī)定低、易拆換等優(yōu)勢，可是因?yàn)槠涫飨鄬γ芏刃?、頻率穩(wěn)定度差、有機(jī)化學(xué)可靠性差、且應(yīng)用周期短（80-100h），因而，在應(yīng)用全過程中必須高頻的拆換燈絲，以保證電鏡維持比較平穩(wěn)的分辨率。

　　2.CeB6燈絲

　　飛納電鏡選用CeB6燈絲。CeB6燈絲色度為1000A/cm2?sr，是鎢燈絲色度的10倍，因而具備高些的分辨率。CeB6燈絲具備更強(qiáng)的抗干擾性，操作溫度為1800K，遠(yuǎn)小于鎢燈絲操作溫度（2800K），燈絲蒸發(fā)量相對性較小，因而使用期限基本上都可以做到1500h，假如再多方面規(guī)范管理，使用期限可進(jìn)一步增加。

　　比如，廣西大學(xué)原材料學(xué)校飛納臺(tái)式一體機(jī)掃描儀電鏡能譜儀一體機(jī)PhenomProX，單條燈絲的使用期限早已做到了2958h，因而應(yīng)用CeB6燈絲可大大減少經(jīng)常拆換燈絲的苦惱。

　　廣西大學(xué)管理科學(xué)與工程學(xué)校于2014年購買飛納臺(tái)式一體機(jī)電鏡PhenomProX。在燈絲應(yīng)用2958h后拆換了新燈絲，經(jīng)精確測量，二次電子電子器件（BSD）圖象的分辨率為11.05nm@15kV，盡管經(jīng)歷了近5年的應(yīng)用，可是分辨率仍然可做到14年剛裝機(jī)器設(shè)備的驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)（14nm），仍未發(fā)生性能衰減系數(shù)的狀況。因而，有原因堅(jiān)信飛納電鏡具備出色的性能可靠性。

　　分辨率檢測結(jié)果

　　燈絲應(yīng)用2700h時(shí)顧客拍攝的圖象

　　拆換燈絲后的掃描儀電鏡圖象

　　燈絲應(yīng)用記時(shí)

　　電子器件激光光路系統(tǒng)軟件

　　在電子器件激光光路系統(tǒng)軟件中，射線管柵極到陽極氧化區(qū)段是受負(fù)極蒸汽環(huán)境污染比較比較嚴(yán)重的地區(qū)，必須定時(shí)執(zhí)行對韋氏帽、陽極氧化等開展超聲波、打磨拋光清除才可以保持電鏡優(yōu)良的情況。假如清除時(shí)實(shí)際操作不善或是自然環(huán)境塵土較多，也有很有可能導(dǎo)致激光光路系統(tǒng)軟件的二次污染，拆換燈絲的頻率越高，受環(huán)境污染的幾率也會(huì)擴(kuò)大，這也是鎢燈絲電鏡性能衰減系數(shù)比較嚴(yán)重的關(guān)鍵緣故之一。

　　伴隨著使用時(shí)間的提升，掃描儀電鏡的分辨率都是有一定水平的降低。歸功于飛納電鏡的工業(yè)產(chǎn)品設(shè)計(jì)，其分辨率隨使用時(shí)間的衰減系數(shù)要比鎢燈絲電鏡遲緩的多。因而，即便鎢燈絲電鏡的原始分辨率稍高于飛納電鏡，在以后較長的應(yīng)用周期時(shí)間內(nèi)，飛納電鏡的分辨率都需要更優(yōu)質(zhì)。

　　飛納電鏡的燈絲選用一體化設(shè)計(jì)方案，燈絲抵達(dá)使用壽命后將對全部射線管開展拆換（包括全新升級的韋氏帽和陽極氧化），進(jìn)而完成了光學(xué)系統(tǒng)免維護(hù)保養(yǎng)。

　　拆換燈絲的全過程由技術(shù)專業(yè)技術(shù)工程師上門服務(wù)進(jìn)行，防止顧客在自主清除全過程引進(jìn)空氣污染物，確保了激光光路系統(tǒng)軟件的清理情況。

　　CeB6燈絲壽命長的特點(diǎn)，使其不用經(jīng)常拆換，防止常常將燈絲倉曝露于環(huán)境空氣中，降低環(huán)境污染的概率；CeB6燈絲亮度高、低散射的特點(diǎn)，使其不用繁雜的激光光路系統(tǒng)軟件，因而受環(huán)境污染的幾率減少，這確保了電鏡性能的長期性平穩(wěn)。

　　總的來說，飛納電鏡選用亮度高、壽命長的CeB6做為電子器件源，既可得到較高分辨率的電子器件圖象，又防止了經(jīng)常拆換燈絲所導(dǎo)致的二次污染，再加之免維護(hù)保養(yǎng)的激光光路系統(tǒng)軟件，巨大水平地確保了電鏡性能的長期性平穩(wěn)，即便經(jīng)歷幾載，嬌艷動(dòng)人風(fēng)采依舊。